專業(yè)從事靜電吸附技術(shù)研發(fā)/生產(chǎn)/應(yīng)用的創(chuàng)新技術(shù)企業(yè)
主要參數(shù):
尺寸:≤ 300*300mm 直徑≤300mm?
吸力:≥120gf/cm2(晶圓)
電壓:≤ +1.5KV
運(yùn)用行業(yè):
工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用,高平面度貼合應(yīng)用,金屬薄膜加工,檢查。